
利用特定的设备而达到的最小焦点尺寸和分辨率,是一台微焦点X射线源最重要的性能之一。德国X-RAY WORX公司在最新整理的白皮书中总结了测量焦点的所有方法,并指导如何使用这些方法实施精确、可进行重复的测量焦斑尺寸大小。

5微米以上的焦斑尺寸可以用1999年发行的通用标准EN12543-5进行分析,也可以选择使用最近的ASTM2903-13,即EN标准的升级标准。
5微米以下的焦斑尺寸的测量可以采用一种间接的方法--JIMA分辨率测试卡。因为EN12543-5标准在此焦斑尺寸范围内测量精确度很低。
众所周知并被广泛接受的JIMA分辨率测试卡,可以通过验证调制传递函数的一些预定义的线性模式来获得一个可重复达到的微焦点X射线源焦斑大小的估算。
测量焦斑尺寸,需要具备基本的X射线技术以及相关的经验,例如优化X射线操作系统、探测器校准、所需放大率的选择以及先进的图像处理软件等,如果需要了解有关焦点尺寸测量的白皮书,请咨询林帝公司。